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平面度誤差的測量

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平面度誤差的測量

平面度誤差是指被測實(shí)際表面對其理想平面的變動量。
平面度誤差是將被測實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較,兩者之間的線值距離即為平面度誤差值;或通過測量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對高度差,再換算以線值表示的平面度誤差值。
平面度誤差測量的常用方法有如下幾種:
1、平晶干涉法:用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面,如量規(guī)的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
2、打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標(biāo)準(zhǔn)平板上,以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面,用測微計沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對角線法:三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距zui遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評定基準(zhǔn)面,實(shí)測時先將被測實(shí)際表面上相距zui遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高;對角線法實(shí)測時先將實(shí)際表面上的四個角點(diǎn)按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計進(jìn)行測量,測微計在整個實(shí)際表面上測得的zui大變動量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。
3、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準(zhǔn)面,液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成,然后用傳感器進(jìn)行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法:光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測量,選擇實(shí)際表面上相距zui遠(yuǎn)的三個點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準(zhǔn)面。
關(guān)鍵詞:平面干涉儀、納米水平儀自準(zhǔn)直儀,粗糙度測試儀

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