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納米精度3D測(cè)試儀應(yīng)用實(shí)例

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納米精度3D測(cè)試儀是光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉儀干涉顯微鏡,結(jié)合顯微鏡物鏡與干涉儀,不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序,兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等有點(diǎn),可提供垂直掃描高度達(dá)400μm的三維測(cè)量,適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。

納米精度3D測(cè)試儀應(yīng)用領(lǐng)域包括:
★晶圓(Wafer)
★光盤/硬盤(DVD Disk/Hard Disk)
★微機(jī)電組件(MEMS Components)
★平面液晶顯示器(LCD)
★高密度線路印刷電路版(HDI PCB)
★IC封裝(IC Package)
★其他材料表面分析與微組件表面研究
專業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟件;
提供多功能又具親和接口的3D圖形處理分析
提供自動(dòng)表面平整化處理功能
提供階高標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(roughness)起伏度 (waviness)的量測(cè)分析.可提供多達(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)
區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析.具有平滑化,銳化與數(shù)字濾波等多種二維快速傅利葉轉(zhuǎn)換(FFI)處理功能
量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出.

關(guān)鍵詞:納米精度3D測(cè)試儀,表面粗糙度(roughness)起伏度 (waviness),白光干涉儀

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